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两种电容式压力传感器。为单只变极距型拉绳开关电容传感器，用于测量流体或气体的压力。液体或气体压力作用于弹性膜片，使膜片片产生位移，位移导致电容量的变化，从而眞起由该电容组成的振荡器的振荡频率变化，频率信号经计数、编码、传输到显示部分，即可指示压力变化量。 一种小型差动式电容压力传感器。它由金属弹性膜片片与镀金凹型下班圆片组成。当被测压力通过过滤器进入空腔时，由于弹性膜片两侧的压力差，使弹性膜片凸向一侧，产生位移，该位移改变了两个镀金下班圆片与弹性膜片间的电容量，通过如脉冲凉宽度调制等电路的处理可以实现压力测量方法。这种传感器的灵敏度和分辨率都很高。其灵敏度取决于初始间隙越小，灵敏度越高。根据实验，该传感器可以测量方法一定数值的微箥压差。其动态响应显然主要取决于片的固有频率。 |
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